Cet équipement unique en Alsace permettra aux chercheurs de façonner toutes sortes d’hétérostructures à base de films minces avec une précision nanométrique. En environnement haut vide, l’accélération d’atomes d’Argon permet de graver a vitesse ajustable des films minces. Egalement équipé d’un outil de diagnostic in-situ de la matière arrachée du substrat (SIMS), il est ainsi possible d’obtenir un contrôle ideal de la gravure. Le système possède une deuxième enceinte qui permettra de faire des dépôts de couches minces d’oxydes sans remise à l’air de l’échantillon après gravure. Ce nouvel outil vient compléter le portfolio de procédés disponibles au sein de STnano et permettra de nouvelles avancées dans les domaines tel que la spintronique, le nanomagnétisme, les dispositifs électroniques non conventionnels et les nanosciences en général.

Cet équipement a été acquis dans le cadre du projet régional RANGE grâce aux soutiens de la Région Grand EST, de l’ITI Qmat, de l’Unistra et du CNRS.